一開(kāi)始，“送設(shè)備、求驗(yàn)證、倒貼錢(qián)”別人都未必愿意；到如今，在手訂單飽滿(mǎn)、供不應(yīng)求、團(tuán)隊(duì)忙到飛起。創(chuàng)業(yè)15年，拓荊科技做對(duì)了什么？
“能有今天的成就，離不開(kāi)臨港。”拓荊科技董事長(zhǎng)呂光泉記得，公司最艱難的時(shí)刻，吃過(guò)多次“散伙飯”，“后來(lái)又重新聚到一起”。
關(guān)關(guān)難過(guò)關(guān)關(guān)過(guò)，輕舟已過(guò)萬(wàn)重山。
通過(guò)招攬海外高層次人才、自主培養(yǎng)本土科研團(tuán)隊(duì)，如今員工1600余人，40.72%是研發(fā)人員。財(cái)報(bào)顯示，拓荊科技今年前三個(gè)季度營(yíng)業(yè)收入達(dá)到42.20億元，同比增長(zhǎng)85.27%。
后摩爾時(shí)代半導(dǎo)體技術(shù)迭代加速、存儲(chǔ)市場(chǎng)行情回暖的雙重催化下，業(yè)績(jī)高歌猛漲。這背后，是拓荊能賺錢(qián)，也舍得“花錢(qián)”——今年1-9月研發(fā)投入5.39億元，同比增長(zhǎng)12.14%。
豪擲“大手筆”，回報(bào)亦頗豐：截至今年9月30日，拓荊科技累計(jì)獲得授權(quán)專(zhuān)利646項(xiàng)（含PCT），其中發(fā)明專(zhuān)利324項(xiàng)。由此驗(yàn)證了其研發(fā)實(shí)力能夠轉(zhuǎn)化為產(chǎn)品競(jìng)爭(zhēng)力。
披荊斬棘，一路生花，呂光泉分外感慨：貴在堅(jiān)持，堅(jiān)持就是勝利！
從“要我來(lái)”到“我要來(lái)”
半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)，技術(shù)壁壘高、回報(bào)周期長(zhǎng)、產(chǎn)品迭代快，從零起步的初創(chuàng)企業(yè)，唯有自主創(chuàng)新，才能站穩(wěn)腳跟，拼出一席之地。
拓荊科技在臨港，可謂“摸著石頭過(guò)河”，實(shí)現(xiàn)從跟跑、并跑到領(lǐng)跑的跨越，蹚出一條波瀾壯闊的半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)化道路。
“剛創(chuàng)立的時(shí)候，國(guó)內(nèi)對(duì)半導(dǎo)體還沒(méi)有概念，何況半導(dǎo)體設(shè)備。那時(shí)候無(wú)論是找資本，還是求客戶(hù)認(rèn)同，都非常困難?！眳喂馊f(shuō)。
2010年，從沈陽(yáng)起步，拓荊科技由中科院沈陽(yáng)科學(xué)儀器有限公司與半導(dǎo)體領(lǐng)域歸國(guó)人才聯(lián)合發(fā)起。核心技術(shù)骨干是擁有深厚學(xué)術(shù)功底和大廠經(jīng)驗(yàn)的華人科學(xué)家。
依托國(guó)家“十一五”02重大專(zhuān)項(xiàng)的支持，這家企業(yè)實(shí)現(xiàn)從0到1的轉(zhuǎn)身。2011年，首臺(tái)12英寸PECVD設(shè)備出廠并獲得驗(yàn)證。
企業(yè)發(fā)展步入正軌后，尋找產(chǎn)業(yè)化擴(kuò)張的“沃土”成為當(dāng)務(wù)之急。萬(wàn)事俱備，只欠東風(fēng)。東海之濱的上海臨港，主動(dòng)上門(mén)尋合作。拓荊科技被臨港專(zhuān)業(yè)的招商服務(wù)和優(yōu)質(zhì)的人才政策保障吸引，一場(chǎng)“雙向奔赴、彼此成就”的結(jié)緣由此展開(kāi)。
臨港新片區(qū)聚焦集成電路等前沿產(chǎn)業(yè)，已形成涵蓋芯片制造、封裝測(cè)試及上游設(shè)備與材料的完整產(chǎn)業(yè)鏈生態(tài)?！斑@為企業(yè)技術(shù)突破和規(guī)?；a(chǎn)提供了絕佳支撐?！?020年12月，拓荊科技成立上海子公司，并在臨港投資建設(shè)半導(dǎo)體先進(jìn)工藝裝備研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化基地。
“上海一廠順利投產(chǎn)并完成多項(xiàng)設(shè)備研發(fā)攻關(guān)，面積達(dá)9萬(wàn)多平方米的上海二廠已建成落地。”呂光泉透露，目前，拓荊科技在沈陽(yáng)、上海臨港設(shè)有產(chǎn)業(yè)化基地。臨港二廠達(dá)產(chǎn)后，公司將規(guī)劃新增300臺(tái)套/年產(chǎn)能。
憑借“硬實(shí)力”，拓荊科技獲評(píng)高新技術(shù)企業(yè)和臨港新片區(qū)企業(yè)技術(shù)中心，斬獲“東方芯港杰出貢獻(xiàn)獎(jiǎng)”榮譽(yù)。
臨港集成電路企業(yè)也從最初的3家增長(zhǎng)至300余家，產(chǎn)業(yè)規(guī)模從5億元躍升至500億元。一批龍頭企業(yè)帶動(dòng)下，形成“就近對(duì)接客戶(hù)、高效解決需求”的發(fā)展便利。
從實(shí)驗(yàn)室到量產(chǎn)
2025第十三屆半導(dǎo)體設(shè)備與核心部件及材料展會(huì)上，拓荊科技攜其PECVD、ALD、Gap-fill以及最新的先進(jìn)鍵合設(shè)備亮相，技術(shù)新突破引起廣泛關(guān)注。
“Chiplet在未來(lái)三五年甚至十年里，有著巨大的市場(chǎng)容量?！眳喂馊硎荆厍G科技在Bonding技術(shù)上走在最前列，同國(guó)際水平幾乎無(wú)差距，甚至很多指標(biāo)領(lǐng)先全球。
天下武功唯快不破。進(jìn)駐臨港后，拓荊科技投身技術(shù)攻關(guān)，其中原子層沉積（ALD）技術(shù)從實(shí)驗(yàn)室走向量產(chǎn)，成為國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程中的關(guān)鍵一步。
從“實(shí)驗(yàn)室原理”到“工業(yè)級(jí)工藝”的跨越，面臨諸多難題：需實(shí)現(xiàn)薄膜在復(fù)雜三維結(jié)構(gòu)上的納米級(jí)均勻性、致密性及近乎100%的臺(tái)階覆蓋率，任何微小缺陷都可能導(dǎo)致芯片性能失效。這對(duì)設(shè)備反應(yīng)腔室設(shè)計(jì)、氣流與溫度均勻性、前驅(qū)體輸送精準(zhǔn)度提出了極限要求。
為此，拓荊科技組建85人的跨部門(mén)團(tuán)隊(duì)，涵蓋機(jī)械設(shè)計(jì)、電子控制、軟件開(kāi)發(fā)、工藝研發(fā)等多領(lǐng)域?qū)＜摇?/p>
研發(fā)部楊辰燁2010年加入，“過(guò)五關(guān)斬六將”的艱難他記憶猶新。在晶圓薄膜生長(zhǎng)驗(yàn)證初期，薄膜均勻性不達(dá)標(biāo)成為制約項(xiàng)目推進(jìn)的瓶頸。團(tuán)隊(duì)依托臨港的產(chǎn)業(yè)協(xié)同優(yōu)勢(shì)，從工藝參數(shù)、設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)、襯底質(zhì)量、量測(cè)手段等維度排查，歷經(jīng)成千上萬(wàn)次實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)，精細(xì)調(diào)整上百個(gè)參數(shù)組合，最終實(shí)現(xiàn)“全程安全零事故”與“原型機(jī)順利投用”兩大硬指標(biāo)。
從跟跑、并跑到領(lǐng)跑
薄膜沉積設(shè)備與光刻設(shè)備、刻蝕設(shè)備并稱(chēng)為芯片制造三大核心設(shè)備，常年占據(jù)晶圓制造設(shè)備市場(chǎng)五分之一以上的份額。拓荊科技“上桌”后，行業(yè)重新“洗牌”。
2024年，中國(guó)大陸薄膜沉積設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模推算約為97億美元，其中拓荊科技覆蓋的產(chǎn)品市場(chǎng)規(guī)模達(dá)48.5億美元，公司對(duì)應(yīng)產(chǎn)品收入41億元，市場(chǎng)份額占比約12%。目前，拓荊科技的核心產(chǎn)品可支撐邏輯芯片、存儲(chǔ)芯片所需全部介質(zhì)薄膜材料的百余種工藝應(yīng)用，在手訂單飽滿(mǎn)。
“后摩爾時(shí)代”來(lái)臨，芯片制程持續(xù)縮小接近物理極限，三維集成作為提升芯片性能的重要方向，催生了半導(dǎo)體設(shè)備的新需求。敏銳捕捉行業(yè)趨勢(shì)，拓荊科技把三維集成領(lǐng)域作為“新引擎”，臨港成為其搶灘未來(lái)的核心陣地。
目前，拓荊科技晶圓對(duì)晶圓混合鍵合設(shè)備已獲得重復(fù)訂單并擴(kuò)大產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用，芯片對(duì)晶圓混合鍵合設(shè)備實(shí)現(xiàn)出貨，配套檢測(cè)設(shè)備也已落地產(chǎn)業(yè)化。
呂光泉表示，未來(lái)拓荊科技將持續(xù)深耕半導(dǎo)體薄膜沉積與三維集成設(shè)備領(lǐng)域，推進(jìn)先進(jìn)制程技術(shù)迭代，優(yōu)化混合鍵合設(shè)備性能，擴(kuò)大工藝覆蓋面與國(guó)產(chǎn)化零部件適配率。
談及未來(lái)3-5年的公司戰(zhàn)略經(jīng)營(yíng)規(guī)劃，他表示，將立足臨港科創(chuàng)城，做大成熟產(chǎn)品的市占率，同時(shí)持續(xù)發(fā)展Chiplet業(yè)務(wù)，最終走向更大的國(guó)際舞臺(tái)。
來(lái)源：新民晚報(bào)
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